ダイヤモンドツールにMax.8,000min-1の回転運動と、毎秒40,000回の超音波振動を複合させた加工機です。 従来では加工が難しかったセラミックスやガラス、単結晶シリコン等の高硬度脆性材料の精密・微細加工を実現しました。