湿式微粒化装置「スターバースト」による電子材料の微粒化例
※処理前と処理後で写真倍率が異なっている場合があります。
1. アルミナ
pass回数 ：10回
圧力 ：245MPa
処理前：27μm
処理後：3μm
2. シリカ
pass回数 ：10回
圧力 ：98MPa
処理前：30μm
処理後：2μm
3. タングステンカーバイト
pass回数 ：3回
圧力 ：137MPa
処理前：10μm
処理後：0.5μm
4. 黒鉛
pass回数 ：7回
圧力 ：147MPa
処理前：30μm
処理後：0．5μm
5. 炭化ケイ素
pass回数 ：3回
圧力 ：245MPa
処理前：20μm
処理後：1μm
6. 金属酸化物
pass回数 ：5回
圧力 ：196MPa
処理前：200μm
処理後：0.2μm
7. バイオ材料（セルロース）
pass回数 ：10回
圧力 ：200MPa
処理前：100μm
処理後：10~50nm（繊維径）