湿式微粒化装置「スターバースト」による電子材料の微粒化例

• アルミナ
• シリカ
• タングステンカーバイト
• 黒鉛
• 炭化ケイ素
• 金属酸化物
• バイオ材料（セルロース）

※処理前と処理後で写真倍率が異なっている場合があります。

1. アルミナ

• pass回数 ：10回
• 圧力 ：245MPa
  
  　　　　処理前：27μm 　　　　　　　　　　　処理後：3μm

2. シリカ

• pass回数 ：10回
• 圧力 ：98MPa
  
  　　　　処理前：30μm　　　　　　　　　 　　　処理後：2μm

3. タングステンカーバイト

• pass回数 ：3回
• 圧力 ：137MPa
  
  　　　　処理前：10μm 　　　　　　　　　　　　処理後：0.5μm

4. 黒鉛

• pass回数 ：7回
• 圧力 ：147MPa
  
  　　　　処理前：30μm 　　　　　　　　　　　　処理後：0．5μm

5. 炭化ケイ素

• pass回数 ：3回
• 圧力 ：245MPa
  
  　　　　処理前：20μm 　　　　　　　　　　　　処理後：1μm

6. 金属酸化物

• pass回数 ：5回
• 圧力 ：196MPa
  
  　　　　処理前：200μm 　　　　　　　　　　　　処理後：0.2μm

7. バイオ材料（セルロース）

• pass回数 ：10回
• 圧力 ：200MPa
  
  　　　　処理前：100μm 　　　　　　　　　　　処理後：10~50nm（繊維径）