WATERBEAM MACHINE (ウォータービームマシン)

超微細加工機 ウォータービームマシン WATERBEAM MACHINE
ウォータービームマシンは、スギノマシンが長年蓄積してきたウォータージェット技術と、最新のレーザー技術との融合によって生まれた、革新的な商品です。
ウォータービーム加工とは
■ ウォータジェットとレーザーの複合加工技術
数10μm径のウォータービームノズルから噴射されるウォータージェット内を、水に吸収されにくいグリーンレーザーが全反射を繰り返しながら高速で伝播することにより、ウォータービームが形成されます。
高圧水がワークを冷却・洗浄するため、熱影響が極めて少ないクリーンな穴あけ、切断、溝切り、表面加工が可能です。
■ WbMの効果
・ 脆性材のヒートクラック、延性材のバリを抑制
・ 細く深い穴、溝を加工し、材料ロスを低減
・ 高圧水の洗浄力でドロスの付着を防止、平滑な切断面の形成実現

特長
1. 熱ダメージ・バリ発生の低減! 広範囲な材質に対応
水の力で熱ダメージとバリの発生を抑えることができるため、ワークの破壊強度低下や酸化を抑制できます。
材質は半導体素材(Si、GaAs、SiC)、金属(ステンレス、銅、形状記憶合金)をはじめ、アルミ薄膜、セラミックス、超硬合金などの難加工材料も加工できます。
2. 切り代を最小化し、材料ロスを低減!深彫りや凹凸材の加工も可能
直径数10μm以下の超極細なウォータービームで、切代を最小化し材料ロスを低減でき、超微細な形状加工が可能です。ウォータービームは直進性が高いため、深掘りや凹凸のあるワークでも確実に加工できます。
3. ドロスの付着を防止
高圧水の洗浄力でドロスの付着を防ぎ、滑らかな切断面の形成を実現します。
用途例
シリコンウェハの微細加工、スクライブ加工、高硬度材の形状加工
電子部品や、太陽電池の切断加工、スクライビング
SUS材、超硬工具の切断加工・穴あけ・微細加工
高硬度材の微細穴あけ加工
複合材料の薄膜除去、バリ取り
切断加工例

切断面の比較

表面加工例

仕様表
型式 | WbM 2D |
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移動形式 | X軸:コラム移動 Y軸:テーブル移動 Z軸:コラム移動 |
ストローク | X:700mm Y:540mm Z:200mm |
位置決め精度 | 0.004mm |
繰り返し制度 | ±0.001mm |
早送り速度 | XYZ軸 Max. 20m/min |
機械寸法 | W1,440mm × D3,360mm × H2,500mm |
機械質量 | 4,500kg |
所要電源 | Max. 20kVA |
供給空気圧 | 0.5MPa (オイルフリー) |
冷却用流量 | 10L/min |
WATERBEAM流量 | Max 0.5L/min (清水) |
レーザー種別 | YAGレーザー (パルス発振) |
レーザー波長 | 532nm |